Категории

Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие

  • Автор: Гридчин Александр Викторович

  • Переплет: твердый
  • Страниц: 232
  • Формат: 21.7x15.4x1.4 см
  • Вес: 390 г
  • ISBN: 978-5-9729-1613-9
  • Год издания: 2024

44349888

Наличие: ОТПРАВКА В ТЕЧЕНИЕ 9-13 РАБОЧИХ ДНЕЙ

1 023 Kč

Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.