Категории

Ионная и фотонная обработка материалов

  • Автор: Комаров Фадей Фадеевич

  • Переплет: твердый
  • Страниц: 246
  • Формат: 20.7x14.7x1.7 см
  • Вес: 384 г
  • ISBN: 978-985-06-3395-8
  • Год издания: 2022

44118464

Наличие: Этого товара нет в наличии

3 794 Kč

Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.
Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.