Категории

Главная > Книги>Учебная литература>Студентам и аспирантам>Технические науки. Медицина. Сельское хозяйство>Автоматика. Радиоэлектроника. Связь>Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

  • Автор: Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.

  • Переплет: твердый
  • Страниц: 283
  • Формат: 24.5x17.5x1.6 см
  • Вес: 405 г
  • ISBN: 978-5-9963-0032-7

  • Серия: Нанотехнологии

04551511

Наличие: Этого товара нет в наличии

482 Kč

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.