Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам.
Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) 'Микросистемная техника' и 'Микроэлектроника и твердотельная электроника'. Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.
